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涡轮分子泵的运用特点详细说明

来源:深圳中创仪器 时间:2015-12-25 11:21 点击:
★ 涡轮分子泵构造特点
a. 卧式涡轮分子泵卧式涡轮分子泵特点是其转子主轴水平安置。这种构造的分子泵是双轴流的,吸气口在两组抽气单元的中心,气体吸入后,别离被摆布两边的叶列组合抽走。轴承别离装在各抽气单元的排气侧,见图 22 。这种型式泵的特点是抽气时转子受力均匀,轴承定位、受力状况好,运用寿命长,且轴承替换过程中,转子方位不动,修理便利。
b. 立式涡轮分子泵
    立式涡轮分子泵构造如图 23 所示。其转子轴笔直装置,只要一组抽气组合叶列。转子叶轮高速旋转时,被抽气体沿着转子组和定子组自高真空端向低真空端压缩,被驱向前级,由前级泵抽走。泵由泵壳、涡轮叶列组件和电动机等构成。现代涡轮分子泵转子和定子之间的空隙较大,通常在 lmm 摆布,因而泵作业时很安全。立式泵的装置技术要比卧式泵简略,所以立式泵开展很快。
    轴承光滑方法有油脂光滑、油绳光滑和离心供油光滑等方法。分子泵轴承光滑油的功能有必要具有以下三个条件,才能满足泵的作业要求: a. 高速下具有杰出的光滑功能; b. 饱满蒸气压低于前级泵作业液的饱满蒸气压. c. 粘度恰当,使之兼有轴承冷却液的效果。
c. 泵作业时振荡的发生及其减振办法保证分子泵作业精度的最首先问题是尽量削减泵作业时的振荡。构成分子泵的零部件以及安放它的根底,都可以认为是一个弹性系统。当分子泵高速作业作业时,泵在其平衡方位作往复性机械运动,便是分子泵的振荡。分子泵的振荡,首先是其振荡零部件的不平衡导致的,首先要素有:
★ 涡轮转子以及电动机主轴的不平衡是发生振荡的首先来历。从涡轮转子的构造看,影响其平衡的要素有:
1. 转子的原料不均 ( 包含密度不均和膨胀系数的不均 ) ; 
2. 涡轮转子的各构成零件在制作中的加工差错,如同轴度、转子端面的平行度、转子体的不对称性等等;
3. 转子的装置质量。如涡轮转子上下叶轮因装置不妥发生误差;涡轮转子在电动机轴上装得不正;或装置时压紧力缺乏,高速作业后发生松动等。以上诸要素会构成涡轮转子的质量散布不均,构成必定的质量偏疼,当转子滚动时发生不平衡的离心力,从而使分子泵发生有害的振荡和噪音。
★ 因为涡轮分子泵的转速很高,因而避免发生共振也是一个重要问题。在分子泵的规划中应正确地选用作业转速和合理地规划电动机的主轴。
★ 主轴的支承条件,如轴承的精度、装置方法、光滑条件等对分子泵的振荡也将发生较大的影响。
为了削减分子泵整机作业时的振荡,在泵的规划制作中应采纳以下办法:
★ 在技术条件答应的情况下,尽可能进步零部件的加工精度。
★ 对电动机主轴及涡轮转子等旋转零部件进行严厉的动平衡实验。
★ 为了避免发生共振,保证泵安全作业,泵规划时,应使主轴的作业转速 n 在其各阶临界转速以外。在轴的初步规划时,应对其临界转速进行验算,最少使其与作业转速相差 20 %摆布,否则应改动轴的尺度或刚性来到达上述要求。
★ 对主轴轴承的外侧设置橡胶减振环。橡胶减振环除了具有减振、隔音效果外,还有利于跳过共振区,衰减高频振荡和噪音的效果。
★ 为削减分子泵的振荡向外传递以及削减外界振荡对分子泵的影响,在分子泵的四个支柱下装有四个橡胶垫以起到隔振效果。
★ 涡轮分子泵的运用特点
a. 作业压力规模宽,在 10-1 ~ 10-8 pa 规模内具有安稳抽速;
b. 起动时间短,能抽除各种气体和蒸气;
c. 分子泵适用于在要求清洗的高真空和真空的仪器及设备上运用。也可用来作为离子泵、提高泵、低温泵等气体捕集真空泵的前级预抽真空泵运用,这将取得更低的极限压力或更清洗的无碳氢化合物的真空环境。

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